上海工研院MEMS成品级测试能力简介

2023-06-20

测试服务

 

MEMS成品级测试

上海工研院测试平台提供MEMS、功率器件以及IC产品测试服务，内容覆盖测试方案制定、测试程序开发、量产测试和器件/晶圆级测试。工研院的资深技术专家可在产品设计和制造等环节提供专业建议，加快产品性能优化，缩短产品上市时间。

 

01 测试服务分类

MEMS晶圆级测试

•动静态参数测试 

•可测如下传感器 

-加速度计 

-陀螺仪 

-麦克风 

-压力传感器 

-温度传感器

 

MEMS成品级测试

•动静态参数测试 

•可测如下传感器 

-加速度计 

-陀螺仪 

-磁传感器 

-压力传感器 

-温度传感器

 

模拟及混合IC

•LED驱动 

•电源管理IC 

•模拟开关 

•运算放大器 

•锂电池保护 

•数模/模数转换

 

功率器件测试

•动静态参数测试 

•功率循环及热阻测试 

•可测如下类型 

-MOSFET 

-二极管 

-单管IGBT 

-IGBT模块

 

02 MEMS成品级测试

对外提供服务的11轴MEMS成品测试系统，专用于MEMS传感器+ASIC电路封装后的测试，该系统集合了3轴旋转，3轴翻转及3轴电磁激励、温度控制等功能，也可转换为压力腔模式。可对成品级陀螺仪、加速度计、磁传感器、压力传感器、温度传感器等进行封装后测试。

结合ATE测试设备可提供测量MEMS器件的关键参数，零位输出、噪音、灵敏度、跨轴灵敏度、线性度、温漂等。并可对产品的误差值进行调校，满足产品供货需求。

 

03 MEMS成品测试系统优点

 

√ 全自动上下料 

√ 多达144个工位并行测试 

√ 集陀螺、加速计、磁力计9DOF测试于一体 

√ 可支持从1mmà5mm大小的封装尺寸 

√ 提供三温测试环境 

√ 快速压力生成设定 

√ <1/10000器件卡料率

 

04 成品级测试设备参数简介

1 InGyro

惯性传感器标定测试

 

2 InBaro

压力传感器标定测试

 

05 联系方式

如需咨询，欢迎联系

Myla Gao，18019007295

Myla.Gao@sitrigroup.com

以上内容原文转载自上海微技术工研院微信公众号。

 

附：

上海微技术工业研究院（SITRI）成立于2013年，由新微科技集团联合多家单位共同发起成立，是集研发、工程、培育于一体的研发与转化功能型平台，为创新企业及合作伙伴提供服务和支持。目前，上海工研院已与国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系，实现创新成果的高效率产业化，加速“超越摩尔”产业生态系统建立。